SRM 2000 高分辨率 X 射線衍射校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)

SRM Number（貨號(hào)）：SRM 2000

Description：Calibration Standard for High-Resolution X-Ray Diffraction

描述：高分辨率 X 射線衍射校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)

Unit of Issue（產(chǎn)品規(guī)格）：1 block

該標(biāo)準(zhǔn)參考材料 （SRM） 為高分辨率 X 射線衍射 （HRXRD） 社區(qū)提供了國(guó)際單位制 （SI） [1] 可追溯的 Si （220） 透射 d 間距、表面到晶體平面晶圓誤切和表面到 Si （004） 反射中的布拉格角作為我們的參考波長(zhǎng)。SRM 2000 的一個(gè)單元由 25 mm × 25 mm × 0.725 mm 雙拋光 （100） 取向的單晶 Si 試樣組成，標(biāo)稱 Si0.85Ge0.15 外延層和 25 nm Si 帽。這些認(rèn)證值可用于校準(zhǔn)HRXRD儀器。

SRM 2000 高分辨率 X 射線衍射校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)

儲(chǔ)存和處理：外延層可能會(huì)損壞或晶圓受到機(jī)械拉傷;因此，應(yīng)避免與SRM的前表面接觸。要去除表面污染，請(qǐng)使用過(guò)濾后的氮?dú)狻?/p>

峰分布：測(cè)得的衍射峰明顯不對(duì)稱。支持性測(cè)量表明，這種不對(duì)稱性可能并不完quan是由于儀器效應(yīng)造成的，而是部分由于 SRM 2000 原料的特性。因此，使用分離式 Pearson VII 輪廓來(lái)擬合和估計(jì)峰位置，并推薦用于確定峰位置以進(jìn)行校準(zhǔn)。由于不對(duì)稱性對(duì)輪廓位置確定的影響不同，使用另一個(gè)輪廓函數(shù)可能會(huì)導(dǎo)致系統(tǒng)性偏差。

部分NIST標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)產(chǎn)品目錄（僅列舉小部分）：